Взаимодействие примесей Zn и Ni с технологическими примесями в кремнииПриведены результаты исследований взаимодействия атомов примесей цинка и никеля в
кремнии Формирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в кремнииФормирование глубинных наноразмерных слоев силицидов и диэлектриков в
кремнии Химическое осаждение меди на пористом кремнииХимическое осаждение меди на пористом
кремнии Способы получения сплавов системы алюминий-кремнийСпособы получения сплавов системы алюминий-
кремний Структурные изменения в сплавах титан-кремний под действием вакуумной дугиСтруктурные изменения в сплавах титан-
кремний под действием вакуумной дуги