Гибридная плазма - перспективы применения для медицины и биологииВасильев, Михаил Николаевич,
Гараева, Вероника Валерьевна,
Злобин, Иван Сергеевич,
Зау, Йе Мьинт,
Кхин, Маунг Хтау,
Хтет, Вэй Ян Чжо,
Хтет, Ко Ко Зау,
Васильева, Татьяна Михайловна энергией электронов до 50 кэВ и
ВЧ-разряда с частотой 13.56 МГц. Описан плазмохимический реактор на основе
НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭКСИМЕРНОГО УФ ИЗЛУЧЕНИЯ РАЗРЯДАПосредством численного 1D моделирования емкостного
ВЧ разряда в смеси Xe и Cl2 определен
Формирования плёнок легированного оксида циркония методом ВЧ-магнитронного распыления иттрием нанесенных методом
ВЧ- магнитронного распыления. Методом рентгенофазового анализа установлено, что
КОМПЛЕКСНОЕ ИЗУЧЕНИЕ ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМОХИМИИ ЕМКОСТНЫХ ВЧ-РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ CF4/AR И CHF3/ARКОМПЛЕКСНОЕ ИЗУЧЕНИЕ ОБЪЕМНОЙ ПЛАЗМОХИМИИ ЕМКОСТНЫХ
ВЧ-РАЗРЯДОВ В СМЕСЯХ CF4/AR И CHF3/AR
Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыленияНанесение пленок цирконата-титаната свинца методом
ВЧ магнетронного распыления