Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления

Евстафьева, М. В.; Голосов, Д. А.; Завадский, С. М.

Нанесение пленок цирконата-титаната свинца методом ВЧ магнетронного распыления

Евстафьева, М. В., Голосов, Д. А., Завадский, С. М.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:05:03Z

Аннотация:

В последнее время бурное развитие микроэлектроники поставило перед технологами новую проблему - необходимость поиска новых диэлектрических материалов для создания конденсаторных структур.

Ключевые слова:
материалы конференций, сегнетоэлектрики, ВЧ магнетронное распыление

Тип: Article