Растворные пленочные технологии. Современные технологии микро- и наноэлектроникиРассмотрены
наноразмерные тонкопленочные структуры и методы получения тонких пленок. обобщены
Фрактальная размерность наноразмерных пленок никеля и хромаИванов, Д. В.,
Антонов, А. С.,
Сдобняков, Н. Ю.,
Семенова, Е. М.,
Романовская, Елена Владимировна,
Афанасьев, М. С. В данной работе
пленки из никеля и хрома формировались на подложке из слюды методом электронно
Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылениемТонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением