Электрическое инициирование воспламенения и горения нано- структурированного кремнияЭлектрическое инициирование воспламенения и горения
нано- структурированного кремния
Междучиповые оптические межсоединения на основе кремниевых нано- и микроструктурЛазарук, С. К.,
Лешок, А. А.,
Долбик, А. В.,
Лабунов, В. А.,
Высоцкий, В. Б.,
Шведов, С. В. Разработаны конструкция и технология изготовления междучиповых оптических межсоединений на
кремнии Планарный алюмооксидный волновод для оптических межсоединений на кремнииПланарный алюмооксидный волновод для оптических межсоединений на
кремнии Склерометрический метод измерения микротвердости пленок фоторезиста на кремнииБринкевич, Д. И.,
Просолович, В. С.,
Янковский, Ю. Н.,
Вабищевич, С. А.,
Вабищевич, Н. В.,
Гайшун, В. Е. В последние годы интенсивно разрабатываются новые виды резистов для
нано- и субмикронной литографии