Междучиповые оптические межсоединения на основе кремниевых нано- и микроструктур

Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Лабунов, В. А.; Высоцкий, В. Б.; Шведов, С. В.

Междучиповые оптические межсоединения на основе кремниевых нано- и микроструктур

Лазарук, С. К., Лешок, А. А., Долбик, А. В., Лабунов, В. А., Высоцкий, В. Б., Шведов, С. В.

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:28:36Z

Аннотация:

Разработаны конструкция и технология изготовления междучиповых оптических межсоединений на кремнии. В качестве светоизлучающих диодов и фотоприемников используются структуры на основе наноразмерного кремния, встроенного в алюмооксидную матрицу. В качестве световодов используются сквозные отверстия кремниевой микроканальной пластины Изготовлена экспериментальная структура с коэффициентом преобразования по току 0,3 %.

Ключевые слова:
публикации ученых, междучиповые оптические межсоединения, светоизлучающий диод, фотоприемник, наноразмерный кремний

Тип: Article