Разработаны конструкция и технология изготовления междучиповых оптических межсоединений на кремнии. В качестве светоизлучающих диодов и фотоприемников используются структуры на основе наноразмерного кремния, встроенного в алюмооксидную матрицу. В качестве световодов используются сквозные отверстия кремниевой микроканальной пластины Изготовлена экспериментальная структура с коэффициентом преобразования по току 0,3 %.