По вашему запросу найдено документов: 4929
Страница 1 из 493
Анодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологииАнодное окисление кремния и нитрида кремния для целей нанотехнологии
Математическая модель окисления кремния в микроэлектронике толщину Х0 окисла 1 с учетом уменьшения Х0 под маской из нитрида кремния 2.
Колебательные спектры нитрида кремнияВ работе исследованы спектры прозрачности нитрида кремния в области волновых чисел 1500-200 см⁻¹ и
Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических системРассмотрены особенности технологии, позволяющей получать пленки нитрида кремния,
имеющие
Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияОписаны результаты эксперимента по увеличению селективности нитрида кремния к диоксиду кремния.
Механизм образования наноструктурной керамики на основе нитрида кремния. III. Экспериментальные исследования механизма образования нанокерамики на основе нитрида кремнияМеханизм образования наноструктурной керамики на основе нитрида кремния. III. Экспериментальные
Повышение селективности травления нитрида кремния к диоксиду кремния субмикронных интегральных схемВ работе представлены решение для повышения селективности травления нитрида кремния, полученного
Технология травления покрытия нитрида кремнияТехнология травления покрытия нитрида кремния
Оптические свойства пленок нитрида кремнияОптические свойства пленок нитрида кремния
Технология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремниюТехнология селективного плазмохимического травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию
Страница 1 из 493
Фасеты
Партнеры
Индексация
