Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давленииПроводилось
плазмохимическое осаждение оксида кремния с использованием плазмы Ar+TEOS/Ar при
Плазмохимическое модифицирование материалов с целью увеличения фильтрационных свойствМетодом электронно-лучевого диспергирования
из активной
газовой фазы на полипропиленовых нетканых и
Классификация процессов химического осаждения из газовой фазы функциональных слоев технологическим факторам. Показано, что химическое
осаждение из газовой фазы (ХОГФ) и его модификации остаются
Осаждение нитридов титана и кремния из газовой фазыОсаждение нитридов титана и кремния
из газовой фазы Высокотемпературная физическая химия. Методы выращивания кристалловДоступ к полному тексту открыт
из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной