Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ)Рассмотрен процесс роста тонких пленок методом
молекулярно-лучевой эпитаксии.
Модель поверхностной сегрегации примеси при легировании в системах молекулярно-лучевой эпитаксииМодель поверхностной сегрегации примеси при легировании в системах
молекулярно-лучевой эпитаксии
Температурная зависимость роста кремния и германия на графите при молекулярно-лучевой эпитаксииТемпературная зависимость роста кремния и германия на графите при
молекулярно-лучевой эпитаксии