Исследование особенностей возбуждения разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электродеИсследование особенностей возбуждения
разряда с эффектом полого катода в n2 в трубчатом электроде
Устройство на основе диэлектрического барьерного разряда для инактивации микроорганизмовУстройство на основе диэлектрического барьерного
разряда для инактивации микроорганизмов
Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разрядаЗависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего
разряда Вакуумный электродуговой источник плазмы с анодным и катодным режимами горения разрядаВакуумный электродуговой источник плазмы с анодным и катодным режимами горения
разряда