Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Исследование эмиссионных процессов в плазме тлеющего разряда и их адаптация к магнетронным распылительным системам

Ковалевский, В. Н., Фигурин, К. Б., Фигурин, Б. Л.

Дата публикации: 2002

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:51:20Z

Тип: Статья (Article)

Связанные документы (рекомендация CORE)