Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишениФормирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени
Формирование хемочувствительных матричных пленок для газовых микросенсоровФормирование хемочувствительных матричных
пленок для газовых микросенсоров
Формирование плёнок SiO2 ионно-лучевым распылением кварцевой мишениФормирование плёнок SiO2 ионно-лучевым распылением кварцевой мишени
Химические сенсоры на основе наноструктурированных материалов. Часть 1. Газовые сенсоры. (Обзор) подложки или мембраны из нанопористого анодного оксида алюминия, вторая –
формирование чувствительных слоев