Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Формирование пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кварцевой мишени

Телеш, Е. В., Гуревич, О. В., Юшкевич, С. А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T12:11:36Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Связанные документы (рекомендация CORE)