Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Формирование пленок оксида гафния-циркония методом реактивного магнетронного распыления комбинированной мишени

Доан, Х. Т., Вилья, Н., Пивоварчик, С. С., Лам, Н. Н.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T16:41:49Z

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)