Ионно-химический синтез покрытий из нитрида углеродаИонно-химический синтез покрытий из нитрида углерода
Влияние ионного ассистирования на структуру и свойства поверхности нанометровых пленок сплава Al‒Fe осаждения. Обнаруженные закономерности эволюции субмикронной конусообразной морфологии пленок при
ионно Исследование вольтамперных характеристик интегрированной ионно-плазменной системыИнтегрированная система
ионно-ассистированного магнетронного распыления была разработана для
Торцевой холловский источник ионов для асситирования осаждения поверхности подложки
ионами в процессе роста пленок называется
ионно-ассистированым осаждением (ion beam