Закономерности формирования тонких металлических пленок на стекле при ионно-ассистированном осаждении влияние условий
ионно-ассистированного осаждения на микроструктуру поверхности тонких металлических пленок
Стехиометрия пленок диоксида кремния, полученных ионно-лучевым распылениемС применением инфракрасной спектрометрии исследован состав SiOх–пленок, полученных
ионно