Способ получения водорода и кислорода разложением воды механоактивации и самораспространяющегося высокотемпературного синтеза из наноразмерных порошков титана,
кремния и
Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияСелективное плазмохимическое травление нитрида
кремния к диоксиду
кремния