Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита

Потылкин, А. Н.

Оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита

Дата публикации: 2023

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:24:37Z

Аннотация:

Исследовано влияние технологических режимов на оптические и механические характеристики фторуглеродных покрытий, полученных реактивным ионно-лучевым распылением мишени из графита.

Ключевые слова:
материалы конференций, фторуглеродное покрытие, реактивное ионно-лучевое распыление, графит

Тип: Article