Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического примененияВакуумно-
плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения
Структура систем Ti-Mo-N, Zr-Mo-N, полученных методом ионно-плазменного осаждениятез нитридов с регулируемым соотношением компонентов. Определено, что структура
системы Ti- Mo-N пред