Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем

Пивоварчик, С. С.

Дата публикации: 2021

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:23:37Z

Ключевые слова:
авторефераты диссертаций, тонкопленочные покрытия, ионно–плазменные системы

Тип: Автореферат

Связанные документы (рекомендация CORE)