Формирование тонких пленок SiOC прямым осаждением из пучков ионов химически активных газовМетод реактивного
ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов химически
Исследование морфологии поверхности тонких пленок диоксида гафния ионно-лучевым распылением металлической мишени с использованием метода атомно-силовой микроскопии
Воздействие примесей донорно-акцепторных газов к воздуху на проводимость тонких пленок на основе диоксида оловаШишкин, Николай Яковлевич,
Курбачев, О. И.,
Чеботарь, Оксана Адамовна,
Черкасов, Вадим Анатольевич,
Башкиров, Леонид Андреевич,
Жарский, Иван Михайлович легированные модификации были получены методом термического окисления металлического слоя. Были получены
пленки