Исследование морфологии поверхности тонких пленок диоксида гафния

Зырянова, А. С.

Исследование морфологии поверхности тонких пленок диоксида гафния

Дата публикации: 2022

Дата публикации в реестре: 2024-03-01T13:43:01Z

Аннотация:

Проведено исследование морфологии поверхности пленок диоксида гафния при их нанесении реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени с использованием метода атомно-силовой микроскопии. Установлено, что после отжига поверхность стала более гладкой и значительно уменьшилось значение средней шероховатости. A study was made of the surface morphology of hafnium dioxide films during their deposition by reactive ion-beam sputtering of a metal target using the method of atomic force microscopy. It was found that after annealing the surface became smoother and the value of the average roughness significantly decreased.