Электрохимическое формирование композитных катодов-мишеней для вакуумного напыления комбинированным методом
ионно-лучевого распыления (КИБ) синтезированной мишени, содержащей гальваническое Ni
Стехиометрия пленок диоксида кремния, полученных ионно-лучевым распылениемС применением инфракрасной спектрометрии исследован состав SiOх–пленок, полученных
ионно Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылениемТонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным
ионно-лучевым распылением
Активация процесса реактивного ионно-лучевого распыленияАктивация процесса реактивного
ионно-лучевого распыления