Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца

Гуревич, О. В.

Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца

Дата публикации: 2012

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:51:20Z

Аннотация:

Ионно-лучевым распылением мишеней из кварца и кремния были получены диэлектрические покрытия (Si-O-C). Исследованы электро-физические и оптические характеристики полученных покрытий и их зависимости от параметров процессов нанесения.

Ключевые слова:
материалы конференций, ионно-лучевое распыление мишеней, диэлектрическое покрытие

Тип: Статья