Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения

Гранько, С. В.

Микроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения

Дата публикации: 2009

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T06:56:34Z

Аннотация:

В практикуме обобщены основные сведения о микроэлектромеханических устройствах. Даны методики анализа МЭМС- и МОЭМС-компонентов устройств медицинского назначения, основанных на явлениях дифракции излучения на фрактальных топологиях; акустоэлектронных компонентов; сенсорно-драйверных устройств. Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Квантовые информационные системы».

Ключевые слова:
микроэлектромеханические устройства, учебно-методические пособия, медицинское оборудование, лабораторные работы

Тип: Book