Технология селективного реактивно-ионного травления нитрида кремния к поликристаллическому кремнию реактивно-ионного травления слоя нитрида кремния и поликристаллического кремния. Установлено, что для
Формирование функционального слоя интегральной микросхемы реактивно-ионным травлениемПутем экспериментальных исследований получен процесс селективного
реактивно-ионного травления