Распределение элементного и фазового состава по толщине токопроводящих пленок на основе дисилицида титана распределению элементного и фазового состава по толщине токопроводящих
пленок на его основе. Установлено, что на
Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылениемКалыгина, Вера Михайловна,
Новиков, Вадим Александрович,
Прудаев, Илья Анатольевич,
Толбанов, Олег Петрович,
Тяжев, Антон Владимирович,
Лыгденова, Туяна Зоригтоевна Представлены результаты анализа структуры и фазового состава
пленок оксида галлия, полученных ВЧ
Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылениемИсследованы структура,
фазовый состав, морфология поверхности и химический
состав пленок на основе