Детектирование дефектов пленок SiO₂ холестерическими жидкими кристалламиРассмотрена возможность регистрации дефектов пленки окиси
кремния на кремнии с помощью нескольких
Спектры комбинационного рассеяния тонких пленок сплава кремний/германий на основе пористого кремнияЧубенко, Е. Б.,
Гревцов, Н. Л.,
Бондаренко, В. П.,
Гаврилин, И. М.,
Павликов, А. В.,
Дронов, А. А.,
Волкова, Л. С.,
Гаврилов, С. А. Исследованы закономерности изменения состава тонких
пленок сплава кремний/германий, сформированного
Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния поликристаллических
пленок кремния германием. Установлено, что равновесная концентрация германия в ультратонких
Формирование тонких пленок SiOC прямым осаждением из пучков ионов химически активных газовМетод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких
пленок непосредственно из пучков ионов химически
Пленки поликристаллического кремния с полусферическими зернамиТурцевич, А. С.,
Ануфриев, Л. П.,
Наливайко, О. Ю.,
Лесникова, В. П.,
Turtsevich, A. S.,
Anufriev, L. P.,
Nalivaiko, O. Y.,
Lesnikova, V. P. Проведено исследование влияния условий получения
пленок кремния на его структуру и мор-
фологию
Формирование каркасной структуры карбида кремния в порошках-композитах алмаз – карбид кремнияФормирование каркасной структуры карбида
кремния в порошках-композитах алмаз – карбид
кремния Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем напряжений
пленок нитрида
кремния от
их толщины и соотношения используемых в процессе осаждения газов