Образование ячеистой структуры в слоях SiGe при наносекундном лазерном облученииОбразование ячеистой
структуры в слоях SiGe при наносекундном лазерном облучении
Водород в кремнии: формирование конических структур на поверхности пластинНа поверхности пластин CZ-Si р-типа формировались конусообразные
структуры в результате имплантации
Температурная зависимость роста 3C-SiC при быстрой вакуумно-термической обработке кремнияПредставлены результаты исследования
структуры, фазового состава и кинетики роста эпитаксиальных