Селективное плазмохимическое травление нитрида кремния к диоксиду кремнияВ настоящее время с развитием нанотехнологий плазмохимическое
травление остается практически
Стабилизированные перекисные растворы травления медиТравление меди является одной из основных операций в производстве печатных плат, определяющей
Электронно–стимулированное травление в микролитографииЭлектронно–стимулированное
травление в микролитографии
Металл-стимулированное химическое травление кремния с использованием дендритов серебраМеталл-стимулированное химическое
травление кремния с использованием дендритов серебра
Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМСПлазмохимическое
травление в технологии производства МЭМС