Металл-стимулированное химическое травление кремния с использованием дендритов серебра

Гревцов, Н. Л.

Металл-стимулированное химическое травление кремния с использованием дендритов серебра

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:46Z

Аннотация:

Исследован процесс химического травления кремниевых пластин, стимулированного дендритами серебра. Нанонити, полученные данным методом на подложках n-типа, обладают меньшим аспектным соотношением по сравнению с их аналогами p-типа, что приписывается меньшей концентрации свободных дырок. Увеличение длины нитей путем повышения продолжительности осаждения объясняется окислением и переосаждением серебра с металлических дендритов большой площади.

Ключевые слова:
материалы конференций, кремниевые пластины, химическое травление, кремниевые наноструктуры

Тип: Статья