Etching technology in formation of self-organized aluminum mesh for sensor and display applications

Zhylinski, V.; Bagamazava, N.; Bezborodov, V.; Smirnov, A.; Chernik, A.; Zharski, I.

Etching technology in formation of self-organized aluminum mesh for sensor and display applications

Zhylinski, V., Bagamazava, N., Bezborodov, V., Smirnov, A., Chernik, A., Zharski, I.

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T10:40:04Z

Аннотация:

В статье описаны исследования влияния температуры и концентрации по травлению нанопористого глинозема в технологии производства самоорганизующегося алюминиевой сетки для сенсоров и дисплеев.

Ключевые слова:
алюминиевые сетки, самоорганизующиеся алюминиевые сетки, травление, химическое травление, оксид алюминия, анодирование, Al-сетки, производство сенсорных микросистем

Тип: Article