Исследование кинетики процессов диффузии и фазообразования в слоистой системе железо - бериллий фазообразования в слоистой системе железо – бериллий с помощью барьерного слоя; установлено, что
барьерный слой
Высокочастотный емкостный разряд в обработке изделий электронной техникиВысокочастотный емкостный
разряд (ВЧЕ-
разряд) формируется в системе из двух плоскопараллельных