Оптические характеристики тонких пленок  HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением

Зырянова, А. С.

Оптические характеристики тонких пленок HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением

Дата публикации: 2019

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:49:28Z

Аннотация:

Проведено исследование влияния парциального давления кислорода при нанесении пленок HfO2 реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени на скорость нанесения и оптические характеристики. Установлено, что скорость нанесения пленок снижается с ростом содержания кислорода в рабочем газе. Пропускание и поглощение пленок незначительно зависели от состава рабочего газа. Ширина запрещенной зоны составила 5,63 эВ.

Ключевые слова:
материалы конференций, тонкие пленки, реактивное ионно-лучевое распыление

Тип: Статья