Физическая модель формирования низкотемпературной плазмы комбинированного разряда комбинированного
разряда пониженного давления. Описаны особенности низкотемпературной плазмы комбинированного
Исследование влияния акустических колебаний на характеристики тлеющего разряда акустических колебаний в электроразрядной камере
тлеющего разряда. Построены вольт-амперные характеристики
Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типаПроведено изучение спектральных характеристик комбинированного (НЧ+СВЧ поля)
разряда в процессе
Влияние акустических течений на структуру контрагированного тлеющего разряда в аргоне течений на структуру контрагированного
тлеющего разряда в аргоне. Показана возможность управления режимом
Adsorption of isopropanol on a nickel oxide оксида никеля и после ее обработок в высокочастотной плазме в Ar и плазме
тлеющего разряда в О2. Отмечено
Осаждение многослойного покрытия в газометаллическом пучково-плазменном образовании при низком давленииДенисов, Владимир Викторович,
Денисова, Юлия Александровна,
Варданян, Эдуард Леонидович,
Островерхов, Евгений Владимирович,
Леонов, Андрей Андреевич,
Савчук, Михаил Викторович несамостоятельного
тлеющего разряда низкого давления. Полученные в исследуемых разрядных схемах покрытия близки по
Зависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров тлеющего разрядаЗависимость уровня легирования эпитаксиальных структур кремния от параметров
тлеющего разряда