Особенности структурообразования многокомпонентных покрытий Ti–Al–B–N, полученных магнетронным распылением в вакуумеМартинкевич, Я. Ю.,
Латушкина, С. Д.,
Лученок, А. Р.,
Посылкина, О. И.,
Романов, И. М.,
Тявловская, Е. А. The features of structure formation of Ti–Al–B–N multicomponent coatings obtained by
magnetron Исследование состава пересыщенных по кремнию слоев нитрида кремния с помощью вторично-ионной масс-спектрометрииЖуравский, Д. В.,
Ласкин, Г. П.,
Мисиюк, К. В.,
Удовиченко, С. Ю.,
Dmitry, V. Zhuravsky,
Laskin, G. P.,
Misyuk, K. V.,
Udovichenko, S. Yu. studied. The supersaturated solutions were obtained in two ways: the method of
magnetron sputtering of a
АНАЛИЗ ИОННЫХ ПОТОКОВ В ПЛАЗМЕ НЕРАСПЫЛЯЮЩЕГО МАГНЕТРОННОГО РАЗРЯДАThe ion flux composition in a non-
sputtering magnetron discharge has been experimentally measured