Simulation of reactive magnetron sputtering system for deposition of thin filmsThis paper simulates a
magnetron sputtering system based on main design features to visualize
Reactive magnetron sputtering model at making Ti-TiOx coatings (mainly on pumping speed).
Reactive magnetron sputtering model allows develop technology of Ti - Ti
Reactive magnetron sputtering model at making Ti-TiOx coatings (mainly on pumping speed).
Reactive magnetron sputtering model allows develop technology of Ti - Ti
Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давленииДостанко, А. П.,
Голосов, Д. А.,
Завадский, С. М.,
Мельников, С. Н.,
Окоджи, Д. Э.,
Котинго, Д. Д.,
Рубан, Г. М. Formation of titanium nitride films by
reactive magnetron sputtering under low pressure
Направления развития магнетронных распылительных систем plasma and promising technologically methods
reactive magnetron sputtering.