A Comprehensive Study of Nonuniformity Properties of the LiCoO<sub>2</sub> Thin-Film Cathode Fabricated by RF Sputtering - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

A Comprehensive Study of Nonuniformity Properties of the LiCoO₂ Thin-Film Cathode Fabricated by RF Sputtering

Kurbatov S.V., Rudy A.S., Naumov V.V., Mironenko A.A., Savenko O.V., Smirnova M.A., Mazaletsky L.A., Pukhov D.E.

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T14:21:34Z

Аннотация:

Ключевые слова:
RF magnetron sputtering, nonuniformity cathode layer, variation of specific capacitance, аll-solid-state thin-film lithium-ion battery

Тип: Article

Источник: Russian Microelectronics

Связанные документы (рекомендация CORE)