Влияние природы редкоземельных металлов на дефектность диэлектрических пленок - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Влияние природы редкоземельных металлов на дефектность диэлектрических пленок

Сацук, С. М., Пинаева, М. М.

Дата публикации: 2014

Дата публикации в реестре: 2020-03-03T07:06:13Z

Ключевые слова:
материалы конференций, редкоземельные металлы, дефектность диэлектрических пленок

Тип: Article

Связанные документы (рекомендация CORE)