Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию

Испытание и диагностика материалов и структур микро- и наноэлектроники. Введение в электронную микроскопию

Дата публикации: 2015

Дата публикации в реестре: 2020-03-31T23:38:33Z

Аннотация:

Учеб.-метод. пособие [для студентов напр. подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»].

Доступ к полному тексту открыт из сети СФУ, вне сети доступ возможен для читателей Научной библиотеки СФУ или за плату.

Содержит теоретические сведения о методах исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники по средствам электронной микроскопии. Предназначено для студентов очной формы обучения направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Ключевые слова:
физика, физические основы электроники, наноэлектроника, исследование материалов, электронная микроскопия, учебно-методические пособия, 537.533.35(07)

Тип: Book