Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Влияние режимов стационарного отжига в различных средах на фазовый состав тонкопленочной системы металл-кремний

Маркевич, М. И., Чапланов, А. М., Щербакова, Е. Н.

Дата публикации: 2013

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T11:44:43Z

Тип: Научный доклад (Working Paper)

Связанные документы (рекомендация CORE)