Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике

Ланин, В. Л.; Чан, Н. Д.

Оптимизация режимов лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике

Дата публикации: 2020

Дата публикации в реестре: 2021-08-05T17:52:01Z

Аннотация:

В процессе лазерной импульсной обработки при формировании отверстий в кремнии и керамике, время нагрева и скорость сверления отверстий с использованием лазерных импульсов длительностью микро-, нано и пикосекунды рассчитаны при разных значениях интенсивности этих импульсов. Определение требуемой интенсивности лазерного луча в процессе лазерного формирования отверстий позволяет оптимизировать процесс.

Ключевые слова:
материалы конференций, лазерная импульсная обработка, формирование отверстий, кремний

Тип: Статья