Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 : монография

Мочалов, Леонид Александрович; Кудряшов, Михаил Александрович; Князев, Александр Владимирович; Алмаев, Алексей Викторович; Слаповская, Екатерина Андреевна

Плазмохимический синтез, исследование и применение тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 : монография

Мочалов, Леонид Александрович, Кудряшов, Михаил Александрович, Князев, Александр Владимирович, Алмаев, Алексей Викторович, Слаповская, Екатерина Андреевна

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-02-11T14:40:46Z

Аннотация:

Монография посвящена получению плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из высокочистых элементов, исследованию и применению тонких пленок оксида галлия, оксида цинка и бинарной оксидной системы ZnO-TeO2. Монография будет интересна для прочтения специалистам разного профиля, занимающимся исследованиями в области физической химии, материаловедения, химии твердого тела и плазмохимии, а также студентам, аспирантам и слушателям, специализирующимся в этих направлениях.

Ключевые слова:
методы синтеза полупроводниковых материалов, синтез тонких пленок оксида галлия, допирование тонких пленок оксида галлия, плазмохимический синтез оксида галлия, легирование тонких пленок оксида галлия, плазмохимический синтез наноструктурированного оксида цинка, плазмохимический синтез бинарной оксидной системы ZnO-TeO2 при различном соотношении макрокомпонентов

Тип: монографии

Права: metadata only access