Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия

Горох, Г. Г.; Таратын, И. А.; Федосенко, В. С.; Эм, М.; Реутская, О. Г.

Тонкопленочные сенсоры с газочувствительным слоем In2O3–Ga2O3 на подложке из анодного оксида алюминия

Горох, Г. Г., Таратын, И. А., Федосенко, В. С., Эм, М., Реутская, О. Г.

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:47:57Z

Аннотация:

Представлены результаты практических испытаний маломощных тонкопленочных газовых микросенсоров, изготовленных на подложках из нанопористого анодного оксида алюминия. Благодаря оригинальной конструкции и наноструктурированным газочувствительным слоям In2O3‒Ga2O3 датчики имели низкое энергопотребление и высокую чувствительность к 10 ppm H2 и 10 ppm CO. Датчики продемонстрировали высокие эксплуатационные характеристики; в частности, энергопотребление при измерениях не превышало 30–40 мВт, максимальная чувствительность по CO достигала 350 %, а по H2 до 140 %, время отклика составляло не более 10–15 с, а время регенерации – не более 20–25 с, высокая воспроизводимость измерений и стабильность работы, дрейф газочувствительных слоев составляет 3–5 % за несколько месяцев.

Ключевые слова:
публикации ученых, оксидные полупроводники, наноматериалы, газовые сенсоры, анодный оксид алюминия

Тип: Article