Эволюция наноструктуры в процессе роста тонких пленок сплавов алюминия на стекле при ионно-ассистированном осаждении

Ташлыкова-Бушкевич, И. И.

Эволюция наноструктуры в процессе роста тонких пленок сплавов алюминия на стекле при ионно-ассистированном осаждении

Дата публикации: 2024

Дата публикации в реестре: 2025-05-27T12:48:34Z

Аннотация:

Цель настоящей работы заключается в исследовании наноструктуры, морфологии, смачиваемости пленок сплавов алюминия и их зависимости от условий формирования, чтобы целенаправленно управлять свойствами поверхности изделий. Представлены данные сравнительного анализа тонких пленок сплавов Al‒Fe и Al‒Cr на стеклянных подложках, сформированных пассивным ионным и ионно-ассистируемым осаждением.

Ключевые слова:
публикации ученых, ионно-ассистированное осаждение, сканирующая зондовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, метод покоящейся капли

Тип: Article