Диэлектрические кремнийорганические покрытия, полученные методом удаленного осаждения из тлеющего разряда в потоке смеси аргон/гексаметилдисилоксан : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 2.6.17.
Связанные документы (рекомендация CORE)