Термоанемометр на основе алмазоподобных пленок

Величко, М. А.

Термоанемометр на основе алмазоподобных пленок

Дата публикации: 2016

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T09:20:29Z

Аннотация:

Рассмотрен метод синтеза алмазоподобных пленок путем химического осаждении углерода, получаемого в плазмотроне при разложении кремнийорганического масла

Ключевые слова:
физика, физика плазмы, алмазоподобные пленки, плазматроны, расходомер газа, резисторы, легирование, нанокомпозиты

Тип: Article