Формирование, структура и свойства тонких пленок силицида магния на Si (111) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07 - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
980 144

Репозиториев:
30

Авторов:
596 024

расширенный поиск

Формирование, структура и свойства тонких пленок силицида магния на Si (111) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Ваванова, Светлана Владимировна

Дата публикации: 2007

Дата публикации в реестре: 2020-02-28T14:11:49Z

Ключевые слова:
тонкие пленки (физика), нанопленки (физика), полупроводники, эпитаксиальные пленки, поликристаллические пленки, силициды, роста пленок метод (физика), стехиометрия пленок (физика), твердофазный рост тонких пленок, кремниевая термоэлектроника, силицид магния (физика), магний (физика), кремний (физика), твердофазная эпитаксия, твердофазный отжиг, межкристаллитные дефекты, эпитаксия, авторефераты диссертаций, физика конденсированного состояния

Тип: автореферат диссертации

Связанные документы (рекомендация CORE)