МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТИТАНА ПОТОКАМИ ИОНОВ ИЗ ПЛАЗМЫ ВЧИ РАЗРЯДА

Харьков  М.М.; Казиев  А.В.; Тумаркин  А.В.; Дробинин  В.Е.; Мещерякова  Е.А.; Писарев  А.А.

МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТИТАНА ПОТОКАМИ ИОНОВ ИЗ ПЛАЗМЫ ВЧИ РАЗРЯДА

Харьков М.М., Казиев А.В., Тумаркин А.В., Дробинин В.Е., Мещерякова Е.А., Писарев А.А.

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:12:34Z

Аннотация:

Проведены эксперименты по ионной модификации поверхности образцов из титана ВТ1-0 в плазме высокочастотного индукционного (ВЧИ) разряда низкого давления. В зависимости от параметров обработки получены различные варианты развития микрорельефа с характерными масштабами неровностей в диапазоне 0,5-5 мкм.

Ключевые слова:
-, -

Тип: article