Modeling of radio-frequency capacitive discharge under atmospheric pressure in Argon - «Национальный агрегатор открытых репозиториев российских университетов» (НОРА)

Материалов:
1 005 012

Репозиториев:
30

Авторов:
761 409

расширенный поиск

Modeling of radio-frequency capacitive discharge under atmospheric pressure in Argon

Дата публикации: 2017

Дата публикации в реестре: 2020-03-01T00:41:42Z

Аннотация:

Ключевые слова:
discharge at atmospheric pressure, local approximation, mathematical modeling, numerical experiments, radio-frequency capacitive discharge

Тип: Article

Источник: SCOPUS19950802-2017-38-6-SID85034969656

Связанные документы (рекомендация CORE)